產品目錄 / Product catalog
質量流量控制系統在使用上主要有四大優點！
更新時間：2020-05-12 點擊次數：6016
質量流量控制系統一款多路質量流量計控制系統，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜Z大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數管式爐配套使用時，可將設備置于移動柜上以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀態顯示都集中在一個7“的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。
該系統采用帶背光寬溫點陣型液晶顯示器，所有顯示都是中文,功能多而實用，特別方便使用者操作，減少不必要的麻煩和錯誤。該系統無需預熱、瞬間啟動的特點使得系統在短短一秒鐘內就能開始控制真空鍍膜過程系統的流量，實時測量顯示質量流量、體積流量、 壓力和溫度參數， 并將運用溫度與壓力對流量參數進行充分補充。氣體模塊程序直接通過質量流量控制器自帶的屏幕顯示，并可直接通過屏蒂按鈕操作切換氣體種類。
該系統的主要優點有：
1、地定量控制流量：
該儀器可以有效地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
2、適用范圍寬：
有很寬的工作壓力范圍，我們的系統可以從真空直到10MPa；可以適用于多種氣體介質；有很寬的流量范圍，我們的系統小流量范圍可達0～5sccm，大流量范圍可達0～200slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%，流量控制范圍是滿量程的2~100%（量程比為--50:1），因此質量流量控制系統在很多領域得到廣泛應用。
3、流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準：
對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質量流量控制器則一般可以忽略不計。
4、測量控制的自動化：
該系統可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。對質量流量控制系統而言，還可以實現流量的自動控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA，數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口，該系統能非常方便地與計算機連接，進行自動控制。
